发明名称 CHAMBER FOR SUBSTRATE DRYING
摘要
申请公布号 KR20060041389(A) 申请公布日期 2006.05.12
申请号 KR20040090463 申请日期 2004.11.08
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, YEONG BEOM
分类号 G02F1/13;G02F1/1333 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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