Verschiebungsmesssystem,申请号DE200760000251T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Verschiebungsmesssystem
摘要
申请公布号	DE602007000251(D1)	申请公布日期	2009.01.02
申请号	DE200760000251T	申请日期	2007.03.09
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	KLAVER, RENATUS GERARDUS;LOOPSTRA, ERIK ROELOF;VAN DER PASCH, ENGELBERTUS ANTONIUS FRANCISCUS
分类号	G01D5/38	主分类号	G01D5/38
代理机构		代理人
主权项
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