基板转移暨处理系统以及基板转移暨处理方法

摘要

本发明提供一种基板转移暨处理系统以及基板转移暨处理方法。基板转移暨处理系统包含一基板转移装置、至少一热板装置、一药液装置、一倾斜装置。基板转移装置用来将基板于一输送路径上移动。热板装置设置于输送路径上，用来承载并加热基板。药液装置设置于输送路径上。药液装置被驱动移动至热板装置所承载的基板处。药液装置与基板的上表面形成一封闭空间。于封闭空间提供一药液与基板的上表面接触以产生一化学反应。倾斜装置用来倾斜热板装置、药液装置及基板至一角度。热板装置对基板加热以使基板与药液加速进行化学反应。

主权项

一种基板转移暨处理系统，用来转移与处理一基板，其特征在于，该基板转移暨处理系统包含：一基板转移装置，用来将该基板于一输送路径上移动；至少一热板装置，设置于该输送路径上，用来承载并加热该基板；一药液装置，设置于该输送路径上，该药液装置被驱动移动至该热板装置所承载的该基板处，该药液装置与该基板的上表面形成一封闭空间，在该封闭空间提供一药液与该基板的该上表面接触以产生一化学反应；以及一倾斜装置，用来倾斜该热板装置、该药液装置及该基板至一角度；该倾斜装置包含：一平台，用来承载该热板装置；一固定转轴，设置于该平台底部其中一侧；一升降装置，设置于该平台底部相对于设有该固定转轴的一侧，该升降装置以该固定转轴为支点进行升降往复运动时，用来倾斜该热板装置、该药液装置及该基板至一角度；其中，该热板装置对该基板加热以使该基板与该药液加速进行该化学反应。