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发明名称 VERFAHREN ZUM MESSEN VON UNEBENHEITEN
摘要
申请公布号 DE2139836(A1) 申请公布日期 1973.02.22
申请号 DE19712139836 申请日期 1971.08.09
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH, 7000 STUTTGART 发明人 MAKOSCH, GUENTER, DIPL.-PHYS., 7034 MAICHINGEN;JAERISCH, WALTER, DIPL.PHYS. DR., 7030 BOEBLINGEN
分类号 G01B11/24;G01B11/30;G02B27/60;G03H1/00;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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