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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 GB1313003(A) 申请公布日期 1973.04.11
申请号 GB19700029765 申请日期 1970.06.19
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 B26F3/00;B28D5/00;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):H01L7/66 主分类号 B26F3/00
代理机构 代理人
主权项
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