ウエハ検査システム内での基板表面の高速高度制御のための方法及びシステム

摘要

ウエハ検査システム内での基板の表面の高速高度制御は、基板を動的に調整可能な基板台組立品の基板台上に位置付けることと、基板の表面に垂直に基板を作動することと、基板の表面の高度誤差値を表面の検査位置で測定することと、基板台組立品の場所で基板の表面に垂直に変位値を測定することと、高度誤差値及び変位値から変位目標値を生成することと、基板表面を検査システムの検出器の撮像面または検査システムの照明の焦点で維持するために、測定された高度誤差値及び生成された変位目標値を使用してアクチュエータの作動状態を調整することと、を含む。