发明名称
摘要
申请公布号 JPS4979682(A) 申请公布日期 1974.08.01
申请号 JP19720122886 申请日期 1972.12.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L33/30;H01L33/36 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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