发明名称
摘要
申请公布号 JPS4929096(B1) 申请公布日期 1974.08.01
申请号 JP19700023138 申请日期 1970.03.20
申请人 发明人
分类号 C30B19/00;C30B29/40;C30B29/44;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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