| 摘要 |
【課題】簡素な構成で、適切にフォーカス位置を調整することができる検査装置、及びそのフォーカス調整方法を提供する。【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、ＥＵＶ光を発生するＥＵＶ光源１１と、ＥＵＶ光を前記ＥＵＶマスクに照射するために設けられた照明光学系１０と、ＥＵＶマスク６０で反射したＥＵＶ光を反射する穴開き凹面鏡２１及び凸面鏡２２と、凸面鏡２２で反射したＥＵＶ光を検出して、ＥＵＶマスクを撮像するカメラ３２と、波長４５０ｎｍ〜６５０ｎｍのＡＦ光を発生するＡＦ光源１６と、ＥＵＶマスク６０で反射したＡＦ光を穴開き凹面鏡２１、及び凸面鏡２２を介して検出する第１検出器２７及び第２検出器３０と、検出結果に基づいて、ＥＵＶマスク６０におけるＥＵＶ光のフォーカス位置を調整する処理装置３１と、を備えたものである。【選択図】図１ |
