VERFAHREN UND GERAET ZUR HERSTELLUNG VON MEHRSCHICHTSTRUKTUREN,申请号DE19742421509-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND GERAET ZUR HERSTELLUNG VON MEHRSCHICHTSTRUKTUREN
摘要
申请公布号	DE2421509(A1)	申请公布日期	1974.11.21
申请号	DE19742421509	申请日期	1974.05.03
申请人	THE RANK ORGANISATION LTD., WHYTELEAFE, SURREY (GROSSBRITANNIEN)	发明人	BROMFIELD, IAN DEREK, LEICESTER;SEDDON, PETER, HINDLEY, WIGAN, LANCASHIRE
分类号	G03B27/32;G02B7/00;G03B17/24;G03B27/62;G03F9/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00;(IPC1-7):G03B41/00	主分类号	G03B27/32
代理机构		代理人
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