发明名称 Metal substrate and Mask using the same
摘要 본 발명의 실시예는 금속판과 이를 이용하여 구현하는 증착효율성을 극대화한 증착용마스크에 대한 것으로, 증착용 마스크로 제조하기 위해 금속판을 에칭하는 경우 발생하는 비틀림 현상을 최소화할 수 있는 비틀림 지수(Hr)를 구비한 금속판과 증착용마스크를 제공할 수 있도록 한다.
申请公布号 KR20160126856(A) 申请公布日期 2016.11.02
申请号 KR20160027311 申请日期 2016.03.07
申请人 LG INNOTEK CO., LTD. 发明人 ROH, GEON HO;HWANG, JOO HYUN;LEE, SANG BEUM;CHO, SU HYEON;HAN, TAE HOON;KIM, NAM HO;MOON, BYUNG YOUL;PARK, JAE SEOK;SON, HYO WON;LIM, JEONG RYONG
分类号 H01L51/56;H01L21/02;H01L21/203;H01L51/00 主分类号 H01L51/56
代理机构 代理人
主权项
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