发明名称 Verfahren und Vorrichtungen zur Modulation eines Strahls elektrisch geladener Teilchen sowie Anwendungsbeispiele für die praktische Anwendung solcher Vorrichtungen
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Modulation eines Strahls (1) elektrisch geladener Teilchen, wobei Pulse (46) ausgewählter Teilchen (6) einer vorgegebenen Geschwindigkeit ausgesondert werden, deren Pulsfolge mit der Periodendauer (5') eines Laserlichts (5) oder einem ganzzahligen Vielfachen davon synchron ist, diese Pulse (46) werden einem durch dieses Laserlicht (5) oder durch ein phasenkorreliertes Laserlicht gleicher Frequenz (25) erzeugten evaneszenten elektromagnetischen Feld (23) zugeführt, das die Pulse (46) der ausgewählten Teilchen (6) für den gewünschten Verwendungszweck moduliert. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Erzeugung der Pulse (46) ausgewählter Teilchen (6), die durch ein mittels des Lasers (5) erzeugtes evaneszentes elektromagnetisches Feld (2) einer gekrümmten dielektrischen Struktur (4', 4'', 4''') mittels Ablenkung und einer die Pulsdauer (6') bestimmenden Blende (7) ausgewählt werden. Die Erfindung betrifft auch eine weitere Vorrichtung (22), die durch das Laserlicht (5, 25) ein evaneszentes elektromagnetisches Feld (23) erzeugt, das die Pulse (46) ausgewählter Teilchen (6) für den jeweiligen Verwendungszweck moduliert.
申请公布号 DE102015116788(B3) 申请公布日期 2016.12.01
申请号 DE201510116788 申请日期 2015.10.02
申请人 CEOS Corrected Electron Optical Systems GmbH;Forschungszentrum Jülich GmbH 发明人 Poppe, Ulrich;Dunin-Borkowski, Rafal;Thust, Andreas
分类号 H05H15/00;G21K1/08;H05H5/00;H05H7/12;H05H9/00 主分类号 H05H15/00
代理机构 代理人
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