测量探头

摘要

本发明涉及一种测量探头。测量探头(300)包括测针(306)、轴运动机构(310)以及旋转运动机构(334)，其中，轴运动机构(310)具备能够使移动构件(312)位移的一对第1隔膜结构体(314、315)，而且旋转运动机构(334)具备能够使旋转构件(336)位移的第2隔膜结构体(340)，在轴向(O)上的、一对第1隔膜结构体(314、315)之间配置有第2隔膜结构体(340)，第1隔膜结构体(314、315)分别相对于第2隔膜结构体(340)配置在彼此对称的距离。由此，能够实现轴向长度的缩短和轻量化，而且能够减小形状误差提升测量精度。

主权项

一种测量探头，其包括：测针，其具有与被测量物接触的接触部；轴运动机构，其具备能够使该接触部在轴向上移动的移动构件；以及旋转运动机构，其具备能够利用旋转运动使所述接触部沿着与该轴向成直角的面移动的旋转构件，该测量探头的特征在于，所述轴运动机构具备能够使所述移动构件位移的多个第1隔膜结构体，而且所述旋转运动机构具备能够使所述旋转构件位移的第2隔膜结构体，在所述轴向上的、所述多个第1隔膜结构体之间配置有所述第2隔膜结构体，该第1隔膜结构体的数量为偶数个，该第1隔膜结构体分别相对于所述第2隔膜结构体配置在彼此对称的距离。