发明名称 HANDOTAIUEEHANO KAKUSANHOHO
摘要
申请公布号 JPS511066(A) 申请公布日期 1976.01.07
申请号 JP19740070249 申请日期 1974.06.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 KODAIRA JUNPEI
分类号 H01L21/223 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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