发明名称 HANDOTAIZAIRYONO KAKUSANHOHOOYOBI KAKUSANSOCHI
摘要
申请公布号 JPS5140760(A) 申请公布日期 1976.04.05
申请号 JP19750091007 申请日期 1975.07.25
申请人 MONSANTO CO 发明人 MAGUNASU JOOJI KURAFUOODO;HOORU MAIKERU GARABAGURIA
分类号 H01L21/22;C30B31/10;H01L21/223 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
地址