| 发明名称 |
NI ROKUZOKUKAGOBUTSUSONO SEIZOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5162198(A) |
申请公布日期 |
1976.05.29 |
| 申请号 |
JP19740136272 |
申请日期 |
1974.11.29 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
YOSHIDA OKIO;HAYASHIMOTO YOSHIAKI;CHOEI ISAO |
| 分类号 |
C01B17/20;C01B17/00;C01B19/00;H01L31/00;H01L31/08 |
主分类号 |
C01B17/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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