发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIRONO SEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPS5176085(A) 申请公布日期 1976.07.01
申请号 JP19750003194 申请日期 1974.12.26
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD 发明人 AOKI KYOSHI
分类号 H01L29/80;H01L21/33;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/822;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/70;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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