发明名称 |
HANDOTAISHUSEKIKAIRONO SEIZOHOHO |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5176085(A) |
申请公布日期 |
1976.07.01 |
申请号 |
JP19750003194 |
申请日期 |
1974.12.26 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
AOKI KYOSHI |
分类号 |
H01L29/80;H01L21/33;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/822;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/70;H01L29/72;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L29/80 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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