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发明名称 DENSHISOCHINOTAMENOTESUTOSOCHI
摘要
申请公布号 JPS5178990(A) 申请公布日期 1976.07.09
申请号 JP19750142466 申请日期 1975.12.02
申请人 IBM 发明人 RONARUDO BOBU;ERITSUKU EMU HYUUBATSUKAA
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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