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发明名称 SEKISOHAADOMASUKUGENBAN
摘要
申请公布号 JPS51105271(A) 申请公布日期 1976.09.17
申请号 JP19750029554 申请日期 1975.03.13
申请人 NIPPON SHINKU GIJUTSU KK 发明人 FUJINAMI TOMOAKI;HATSUTORI ISAO
分类号 G03F1/00;G03F1/46;H01L21/00;H01L21/027 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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