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发明名称
摘要
申请公布号 FR2130195(B1) 申请公布日期 1977.01.14
申请号 FR19720008775 申请日期 1972.03.14
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 C23C14/04;G05D5/03;(IPC1-7):C23C17/00;H01G13/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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