| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5244183(A) |
申请公布日期 |
1977.04.06 |
| 申请号 |
JP19750119458 |
申请日期 |
1975.10.03 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
HORIUCHI SHIGEHARU |
| 分类号 |
H03H11/26;H01L21/339;H01L27/04;H01L27/10;H01L29/762;H01L29/78 |
主分类号 |
H03H11/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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