发明名称 |
COIL FOR INTEGRATED CIRCUIT AND PROCESS FOR PRODUCTION OF SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5246787(A) |
申请公布日期 |
1977.04.13 |
申请号 |
JP19750121830 |
申请日期 |
1975.10.11 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAGOME YOSHIYUKI;HOUYA KAZUO |
分类号 |
H01F17/00;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
H01F17/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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