发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5260580(A) 申请公布日期 1977.05.19
申请号 JP19750136328 申请日期 1975.11.14
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HASHIMOTO TAKAO;MIZOUE HIROO;INO MASAYOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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