发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS5261957(A) 申请公布日期 1977.05.21
申请号 JP19750138456 申请日期 1975.11.18
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NAKAJIMA MASAHIRO;KIHARA MASANOBU
分类号 C30B19/00;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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