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发明名称
LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号
JPS5261957(A)
申请公布日期
1977.05.21
申请号
JP19750138456
申请日期
1975.11.18
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
NAKAJIMA MASAHIRO;KIHARA MASANOBU
分类号
C30B19/00;C30B29/40;H01L21/208
主分类号
C30B19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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