SPATTERING POWER SOURCE DEVICE,申请号JP19760001948-传众专利搜索

发明名称	SPATTERING POWER SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号	JPS5285798(A)	申请公布日期	1977.07.16
申请号	JP19760001948	申请日期	1976.01.09
申请人	TOKUDA SEISAKUSHO	发明人	KURIYAMA NOBORU
分类号	C23C14/34;C23C14/54;G05F1/02;H01J37/30	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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