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发明名称 INSULATING BASE MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS5295969(A) 申请公布日期 1977.08.12
申请号 JP19760012272 申请日期 1976.02.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWAMATSU SEIICHI;KODAIRA JIYUNPEI
分类号 C30B25/18;C30B29/20;H01L21/20;H01L21/86 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
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