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发明名称
DEVICE FOR LOCATING SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号
JPS52117076(A)
申请公布日期
1977.10.01
申请号
JP19760033996
申请日期
1976.03.26
申请人
SUWA SEIKOSHA KK
发明人
ABE TAKASHI
分类号
H01L21/68;H01L21/48
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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