发明名称 DEVICE FOR LOCATING SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPS52117076(A) 申请公布日期 1977.10.01
申请号 JP19760033996 申请日期 1976.03.26
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 ABE TAKASHI
分类号 H01L21/68;H01L21/48 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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