发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS52135682(A) 申请公布日期 1977.11.12
申请号 JP19760052236 申请日期 1976.05.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 MORIYAMA KOUICHI;YAMAMOTO TOSHITAKA;AOKI SHIGERU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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