| 发明名称 |
MEDIDOR DE DEFORMACAO DE SEMICONDUTORES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR7608625(A) |
申请公布日期 |
1977.12.27 |
| 申请号 |
BR19760008625 |
申请日期 |
1976.12.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMADA K;OKAYAMA T;SHIMADA S;MATSUDA Y |
| 分类号 |
H01L29/84;G01R31/00;H01L29/86;H01L45/00;(IPC1-7):G01R31/00 |
主分类号 |
H01L29/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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