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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON INTEGRIERTEN HALBLEITERSCHALTUNGEN
摘要
申请公布号 DE2425915(B2) 申请公布日期 1978.01.19
申请号 DE19742425915 申请日期 1974.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/82;H01L27/00;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/72 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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