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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5314673(U) 申请公布日期 1978.02.07
申请号 JP19760096402U 申请日期 1976.07.16
申请人 发明人
分类号 F23Q3/00;H01L41/00;H01L41/08;H01L41/113;H02N2/00;H02N2/18 主分类号 F23Q3/00
代理机构 代理人
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