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发明名称
HOLDER OF SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
JPS5362466(A)
申请公布日期
1978.06.03
申请号
JP19760138231
申请日期
1976.11.16
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
WATANABE TOSHIMI
分类号
H01L21/673;H01L21/22;H01L21/68
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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