真空管快速排气工艺方法

摘要

本发明公开了真空管快速排气工艺方法，该方法利用高温空气密度小原理，尽力将空气加热至不损伤真空管的温度，同时随着温度升高调节真空管的真空度，如此则抽真空所需的时间最少，机械泵和扩散泵的工作量也较少。

主权项

一种真空管快速排气工艺方法，其特征是：其包括如下步骤：1).开启加热器预热，温度设置在80℃至120℃，到达设定温度时再开启机械泵预抽真空至100Pa以上；2).当预抽真空低于100Pa高于10E‑1 Pa时，加热器预热温度设定在180℃至220℃，不停泵，继续抽真空至10E‑1~1 Pa；3).关闭机械泵，同时开扩散泵，加热温度设定调高至380℃至420℃；4).保温20~30分钟，抽真空至10E‑4 ~10E‑3Pa；5).封离排气嘴；6).关闭加热器，降温；7).蒸散吸气剂，起蒸时间为4至6秒，总蒸时间为14至16秒，蒸散频率在340 KHz至380KHz；8).收尾。