涂敷装置以及涂敷方法

摘要

本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂覆液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂覆液后关闭，停止涂覆液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。

主权项

一种涂敷装置，其特征在于，具备：涂覆液供给源，其通过加压而将贮存于罐内的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与该涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液，一边相对于涂敷对象物进行相对移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设置于所述涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向所述喷嘴供给涂覆液，之后关闭，停止涂覆液向该喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设置于所述涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制在所述开闭阀打开时朝向所述喷嘴传播的压力的变化。