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发明名称 PREPARATION FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5378774(A) 申请公布日期 1978.07.12
申请号 JP19760155298 申请日期 1976.12.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KANEKO TOSHIAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/316 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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