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发明名称 FAULT DETECTING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5387178(A) 申请公布日期 1978.08.01
申请号 JP19770001494 申请日期 1977.01.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 YANAGIDA TOMOATSU
分类号 H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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