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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53112666(A) 申请公布日期 1978.10.02
申请号 JP19770027057 申请日期 1977.03.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUNAGA AKIRA
分类号 H01L23/48;H01L21/44;H01L21/56;H01L23/28 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
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