密封されたチャンバを形成するためのシステムおよび方法

摘要

本発明の実施形態によれば、第１のチャンバと、第２のチャンバと、チャックと、移動システムとを備え、第１のチャンバが、第１の表面を有する第１の要素と、第２の表面を備える第１のチャンバハウジングであり、第１の表面と第２の表面が第１のインターフェースのところで互いに近接する第１のチャンバハウジングと、第１のチャンバ内にチャックが置かれているときにチャックを支持する支持要素と、第１のインターフェースのところに形成された第１の運動用シールであり、移動システムから第１のチャンバを密封するように配置された第１の運動用シールとを備え、第２のチャンバが、第２のチャンバハウジングと、（ａ）第１のチャンバハウジングと（ｂ）第１の要素およびチャックとの間の移動を導入するように配置された移動システムと、第１の要素を移動システムに機械的に結合する移動制御要素とを備えるシステムが提供される。