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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5346078(B2)	申请公布日期	1978.12.11
申请号	JP19720031948	申请日期	1972.03.30
申请人		发明人
分类号	H01L27/082;H01L21/331;H01L21/761;H01L21/8228;H01L29/73	主分类号	H01L27/082
代理机构		代理人
主权项
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