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发明名称 MEASURING METHOD OF ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND PROBE CARD USED IN SAID METHOD
摘要
申请公布号 JPS53145576(A) 申请公布日期 1978.12.18
申请号 JP19770059761 申请日期 1977.05.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAMURA SHINAYA
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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