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发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5423374(A) 申请公布日期 1979.02.21
申请号 JP19770088708 申请日期 1977.07.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HAGIO MASAHIRO;TAKAGI HIROMITSU;NAGASHIMA ATSUSHI;HIRAO TAKASHI
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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