发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5466075(A) 申请公布日期 1979.05.28
申请号 JP19770132648 申请日期 1977.11.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KONDOU HISAO
分类号 H01L29/78;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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