发明名称 GRAPH EXPOSURE UNIT
摘要
申请公布号 JPS54104776(A) 申请公布日期 1979.08.17
申请号 JP19780011717 申请日期 1978.02.03
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KIMOTO IKUO;MORIMOTO KATSUMI;TOKUMARU ISAO
分类号 H05K3/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
主权项
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