主权项 |
1﹒一种用电子束定位址之装置,包含一真空封套,此封套具有相互间隔而实质上平行之前后壁,一目标邻近该前壁并实质上与之同宽,以及用以产生及指引电子沿延伸在前后壁之间并实质上平行于此目标之一路径进行之工具;此种装置之特点为沿该路径全长之引导工具(36,64),用以将此等电子约束成一电子束,以及用以在沿该路径之选定点处使该电子束朝该目标(28)偶向之工具者。2﹒根据上述请求专利部份第1项之一种用电子束就位址之装置,其特点为该等电子乃系沿多条平行路径所产生及引导,此等路径系在该前(18)后(20)壁部之间并平行于该目标,该引导工具则系沿每一该等路径之全长而配置,用以限制该等电子在一电子束中,以及每一该等电子束系沿一路径之选定各点朝该目标偏向者。3﹒根据上述请求专利部份第1或2项之一种用电子束定位址之装置,其特点为该引导工具乃系含有产生各种静电作用力之工具(42a、42b、44a、44b,47a、47b、48a、48b、66.68a、68b、70)此等工具则限制该等电子于该电子束。4﹒根据上述请求专利部份第1或2项之一种用电子束定位址之装置,其特点为该目标乃系与该前壁之内表面同宽之一磷质萤光幕者。 |