发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54141586(A) 申请公布日期 1979.11.02
申请号 JP19780050539 申请日期 1978.04.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KURODA SATORU
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/40 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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