| 发明名称 |
SILICON ETCHING SOLUTION AND METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54141348(A) |
申请公布日期 |
1979.11.02 |
| 申请号 |
JP19790022065 |
申请日期 |
1979.02.28 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
MERUBIN BAAKENBURITSUTO;DENISU KURINTON GURIIN;FURANKU BENJIYAMIN KAAFUMAN;AANORUDO RAIZUMAN |
| 分类号 |
C23F1/10;H01L21/306;H01L21/308 |
主分类号 |
C23F1/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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