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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5597538(U)	申请公布日期	1980.07.07
申请号	JP19780180758U	申请日期	1978.12.27
申请人		发明人
分类号	G01J1/00;G01J9/00;H01L27/14;H01L31/00;(IPC1-7):G01J9/00	主分类号	G01J1/00
代理机构		代理人
主权项
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