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发明名称
摘要
申请公布号 DE2541003(B2) 申请公布日期 1980.07.31
申请号 DE19752541003 申请日期 1975.09.13
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH, 6000 FRANKFURT 发明人 BOERNER, MANFRED, DR.RER.NAT., 7900 ULM
分类号 G01R31/308;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/308
代理机构 代理人
主权项
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