发明名称 REGENERATION OF AMMONIACAL ETCHING SOLUTION FOR COPPER METAL ETCHING
摘要
申请公布号 JPS55148772(A) 申请公布日期 1980.11.19
申请号 JP19800057041 申请日期 1980.04.28
申请人 SIEMENS AG 发明人 EFUCHIMIOSU KONSUTANTOUROSU
分类号 C23F1/46 主分类号 C23F1/46
代理机构 代理人
主权项
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