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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5611237(B2)
申请公布日期
1981.03.12
申请号
JP19730086112
申请日期
1973.07.31
申请人
发明人
分类号
H05K3/32;G09F9/33;H01L21/52;H01L23/48;H01L33/56;H01L33/60;H01L33/62
主分类号
H05K3/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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